[发明专利]具有传感器元件的传感器以及用于制造传感器元件的工艺有效
申请号: | 201480047911.8 | 申请日: | 2014-07-04 |
公开(公告)号: | CN105612404B | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | C·普法菲格尔;W·格勒默尔;K·维斯培特纳;G·舒奥莫瑟;T·维斯培特纳 | 申请(专利权)人: | 微-埃普西龙测量技术有限两合公司 |
主分类号: | G01D5/20 | 分类号: | G01D5/20;G01D5/22 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 罗婷婷 |
地址: | 德国奥*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及用于使用一磁场来进行路径或距离测量的电感传感器的传感器元件,该磁场根据到测量对象的距离而变化但在时间上是恒定的,其中薄铁磁材料被集成到基板中。此外,本发明涉及包含该传感器元件的传感器以及用于制造该传感器元件的过程。 | ||
搜索关键词: | 具有 传感器 元件 以及 用于 制造 工艺 | ||
【主权项】:
1.用于使用磁场来进行路径或距离测量的电感传感器的传感器元件,所述磁场根据到测量对象的距离而变化但在时间上是恒定的,其中薄铁磁材料被集成到基板中,其中所述传感器元件的特征为平面线圈以及覆盖所述平面线圈的软磁箔,其特征在于,所述基板是电路板或陶瓷基板,所述平面线圈和所述软磁箔通过印刷或热处理或通过使用焊接技术被集成到所述电路板或陶瓷基板中。
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