[发明专利]气体传感器、气体传感器的制造方法、以及气体浓度的检测方法

摘要

作为气体传感器的湿度传感器具备：由以NiO和ZnO的固溶体为主成分的烧结体形成的p型半导体层(1)；和以ZnO及TiO₂之中的至少任一方为主成分且形成在p型半导体层(1)的表面的n型半导体层(2)，p型半导体层(1)中Ni与Zn的摩尔比率Ni/Zn为6/4以上且8/2以下。n型半导体层(2)通过溅射处理制作，或烧成在要成为p型半导体层(1)的未加工层叠体上层叠要成为n型半导体层(2)的生片而成的层叠结构体来制作。将p型半导体层作为正极侧，将n型半导体层作为负极侧，脉冲状地间歇施加电压，基于在所述电压施加时测量的电流值来检测湿度。由此实现特性、高温稳定性良好且耐久性卓越的具有高可靠性的高精度的pn结型的气体传感器和其制造方法及气体浓度的检测方法。

主权项

一种气体传感器，其特征在于，具备：p型半导体层，其由以NiO和ZnO的固溶体为主成分的烧结体来形成；和n型半导体层，其以ZnO以及TiO₂之中的至少任意一方为主成分，且被形成在所述p型半导体层的表面，所述p型半导体层中，Ni与Zn的摩尔比率Ni/Zn为6/4以上且8/2以下。