[发明专利]检测装置及程序有效
| 申请号： | 201480046549.2 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106068489B | 公开（公告）日： | 2021-03-19 |
| 发明（设计）人： | 栗林英范;田边达良;下山茉理绘;土岐英史;小宫大作 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种检测装置，其具有：检测部，其在检测基准检测规定的非接触操作；和控制部，其在规定的非接触操作在检测基准没有被检测到的情况下，改变检测基准。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 程序 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其特征在于，具有：检测部，其在检测基准检测规定的非接触操作；和控制部，其在所述规定的非接触操作在所述检测基准没有被检测到的情况下，改变所述检测基准。
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