[发明专利]用于制造第13族氮化物晶体的设备和方法在审
| 申请号： | 201480044634.5 | 申请日： | 2014-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN105745365A | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 佐藤隆;林昌弘;皿山正二;加藤好一;森勇介 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;C30B19/06 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;肖靖泉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 使用通过使用熔剂方法制造第13族氮化物晶体的设备。所述设备包括反应容器、旋转机构、和结构体。所述反应容器容纳混合熔体和置于所述混合熔体中的种晶。所述混合熔体包含碱金属或碱土金属和第13族元素。所述旋转机构使所述反应容器旋转。所述结构体设置在所述反应容器内部用于搅拌所述混合熔体并且构造成使得所述结构体的接近于所述反应容器的内壁的第一部分的高度高于所述结构体的接近于所述反应容器的中心的第二部分的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 13 氮化物 晶体 设备 方法 | ||
【主权项】：
通过使用熔剂方法制造第13族氮化物晶体的设备，所述设备包括：反应容器，其容纳混合熔体和置于所述混合熔体中的种晶，所述混合熔体包含碱金属或碱土金属和第13族元素；旋转机构，其使所述反应容器旋转；和结构体，其设置在所述反应容器内部用于搅拌所述混合熔体并且构造成使得所述结构体的接近于所述反应容器的内壁的第一部分的高度高于所述结构体的接近于所述反应容器的中心的第二部分的高度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社理光，未经株式会社理光许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480044634.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
