[发明专利]用于光学度量衡的自动波长或角度修剪的方法及光学系统有效
申请号: | 201480039781.3 | 申请日: | 2014-06-03 |
公开(公告)号: | CN106030282B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 李列泉;利奥尼德·波斯拉夫斯基 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/00 | 分类号: | G01N21/00;G01N21/25;G01N21/47;G01B11/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明描述用于光学度量衡的自动波长或角度修剪。用于光学度量衡的自动波长或角度修剪的方法的实施例包含:确定包含多个参数的结构的模型;设计并计算用于所述模型的波长相依或角度相依数据的数据集;将所述数据集存储在计算机存储器中;用处理器执行对用于所述模型的所述数据集的分析,包含:对所述数据集应用离群值检测技术及识别任何数据离群值,每一数据离群值为波长或角度;且如果在所述模型的所述数据集的所述分析中识别到任何数据离群值,那么从所述数据集移除对应于所述数据离群值的所述波长或角度以产生经修改数据集,并且将所述经修改数据集存储在所述计算机存储器中。 | ||
搜索关键词: | 用于 光学 度量衡 自动 波长 角度 修剪 方法 光学系统 | ||
【主权项】:
一种用于光学度量衡的自动波长或角度修剪的方法,所述方法包括:确定包含多个参数的结构的模型;设计并计算用于所述模型的波长相依或角度相依数据的数据集;将所述数据集存储在计算机存储器中;用处理器执行对用于所述模型的所述数据集的分析,包含:对所述数据集应用离群值检测技术,及识别任何数据离群值,每一数据离群值为波长或角度;且如果在所述模型的所述数据集的所述分析中识别到任何数据离群值,那么从所述数据集移除对应于所述数据离群值的所述波长或角度以产生经修改数据集,并且将所述经修改数据集存储在所述计算机存储器中。
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