[发明专利]具有稳定柱的微型器件有效
| 申请号： | 201480037631.9 | 申请日： | 2014-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN105359283B | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 胡馨华;K·K·C·常;A·比布尔 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L25/075;H01L23/00;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅;董典红 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于稳定微型器件阵列的方法和结构。稳定层包括稳定腔阵列和稳定柱阵列。每个稳定腔包括围绕稳定柱的侧壁。微型器件阵列位于稳定柱阵列上。微型器件阵列中的每个微型器件包括底表面，该底表面比底表面正下方的对应稳定柱宽。 | ||
| 搜索关键词： | 稳定柱 微型器件阵列 微型器件 稳定腔 稳定层 侧壁 | ||
【主权项】：
1.一种形成微型器件阵列的方法，包括：对器件层进行图案化以在处理衬底上方形成微型器件台面结构阵列；形成图案化牺牲层，所述图案化牺牲层包括位于所述微型器件台面结构阵列上方的开口阵列；在所述图案化牺牲层上方和所述开口阵列内形成稳定层；以及移除所述处理衬底。
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