[发明专利]用于制备铟烷氧化物化合物的方法、可由该方法制备的铟烷氧化物化合物及其用途有效
| 申请号： | 201480036888.2 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN105492447B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | J·施泰格尔;D·V·范;A·诺依曼;A·梅尔库洛夫;A·霍佩;D·佛吕林 | 申请（专利权）人： | 赢创德固赛有限公司 |
| 主分类号： | C07F5/00 | 分类号： | C07F5/00;C23C18/12;H01L21/285 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 于辉 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种铟烷氧化物化合物，其可通过在通式ROH醇(其中R＝烷基)的存在下将三卤化铟InX3(其中X＝F、Cl、Br、I)与式R′2NH(其中R′＝烷基)的仲胺以相对于三卤化铟8∶1至20∶1的摩尔比反应制备；本发明还涉及制备所述化合物的方法；及其用于制造含氧化铟或(半)导体层的用途。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 烷氧化物 烷基 卤化铟 摩尔比反应 导体层 氧化铟 仲胺 制造 | ||
【主权项】：
1.铟烷氧化物化合物，其可通过在通式ROH的醇存在下将‑三卤化铟InX3，其中X＝F、Cl、Br、I‑与式R'2NH的仲胺以相对于三卤化铟8:1至20:1的摩尔比反应制备，其中R和R'是式CnH2n+1的直链、支化或环状C1‑至C10‑烷基，n＝1至10。
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