[发明专利]具有可活动的栅极的场效应晶体管红外传感器有效
申请号: | 201480032219.8 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN105393096B | 公开(公告)日: | 2017-07-18 |
发明(设计)人: | A.费伊 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J5/20;H01L27/14;H01L31/101 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 李永波,宣力伟 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种由场效应晶体管构成的红外传感器(100),具有半导体衬底(117),该衬底具有漏极接点(110)和源极接点,其中,所述漏极接点(110)通过通道区(105)与源极接点(115)分开。该传感器(100)还包括一个栅极单元(125),它关于通道区(105)可活动地构成并且设置在这个通道区上面,其中所述栅极单元(125)设计成,响应接收的电磁辐射(135)改变栅极单元的形状和/或栅极单元(125)的至少一部分(140)与通道区(105)的距离(d)。 | ||
搜索关键词: | 具有 活动 栅极 场效应 晶体管 红外传感器 | ||
【主权项】:
一种传感器(100)具有下面的特征:‑一个具有漏极接点(110)和源极接点的载体衬底(117),其中,所述漏极接点(110)通过通道区(105)与源极接点(115)分开;和‑一个栅极单元(125),它关于通道区(105)至少部分可活动地构成和设置,其中所述栅极单元(125)设计成,响应接收的电磁辐射(135)改变栅极单元(125)的形状(w,L)和/或栅极单元(125)的位置和/或栅极单元(125)的至少一部分(140)与通道区(105)的距离(d)。
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