[发明专利]成膜装置以及使用该成膜装置的成膜方法有效
| 申请号： | 201480030615.7 | 申请日： | 2014-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN105247097B | 公开（公告）日： | 2017-08-04 |
| 发明（设计）人： | 濑川利规;石山敦;藤井博文 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制冷剂泄漏的风险大幅度降低且能够提高冷却效率的成膜装置以及成膜方法。成膜装置(1)包括冷却部(4)、旋转台主体(11)、升降机构(5)以及制冷剂配管(6)，其中，冷却部(4)在腔室(2)的空间(2e)内冷却工件(W)，旋转台主体(11)在工件(W)被载置的状态下以垂直轴为中心旋转，且具有载置冷却部(4)的冷却部载置部(21)和被配置成包围该冷却部载置部(21)的周围且载置工件(W)的工件载置部(22)，升降机构(5)使冷却部(4)在空间(2e)内在第一位置与第二位置之间升降，第一位置是冷却部(4)被载置于旋转台主体(11)位置，第二位置是冷却部(4)从该旋转台主体(11)向上方隔开距离且与被载置于工件载置部(22)的工件(W)的侧面相向的位置，制冷剂配管(6)被安装于腔室(2)，且以能够装拆的方式连接于冷却部(4)，向该冷却部(4)供给制冷剂。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，用于一边冷却工件一边进行成膜处理，其特征在于包括：腔室，具有收容所述工件并进行该工件的成膜处理的空间；冷却部，在所述空间内冷却所述工件；旋转台，在所述工件被载置的状态下以垂直轴为中心旋转，且具有载置所述冷却部的冷却部载置部和被配置成包围该冷却部载置部的周围并载置所述工件的工件载置部；升降机构，使所述冷却部在所述空间内在第一位置与第二位置之间升降，所述第一位置是所述冷却部被载置于所述旋转台的位置，所述第二位置是所述冷却部从该旋转台向上方隔开距离且与被载置于所述工件载置部的所述工件的侧面相向的位置；以及制冷剂配管，被安装于所述腔室，且以能够装拆的方式连接于所述冷却部，向该冷却部供给制冷剂。
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