[发明专利]用于制造颗粒状多晶硅的方法在审
| 申请号: | 201480030048.5 | 申请日: | 2014-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN105246827A | 公开(公告)日: | 2016-01-13 |
| 发明(设计)人: | 西蒙·佩德龙 | 申请(专利权)人: | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号: | C01B33/027 | 分类号: | C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03 |
| 代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 张英;宫传芝 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本发明涉及一种用于在流化床反应器中制造颗粒状多晶硅的方法,所述方法包括:借助在被加热到600-1200℃温度的流化床中的进料的流化气体流化硅颗粒,加入含硅反应气体以及在硅颗粒上沉积硅,借此形成颗粒状多晶硅,随后将多晶硅从反应器中移除,并还移除废气。该方法的特征为所移除的废气用于加热流化气体或反应气体,或用于加热热交换器中的冷却水流。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 制造 颗粒状 多晶 方法 | ||
【主权项】:
一种用于在流化床反应器中制造颗粒状多晶硅的方法,包括:借助被加热到600‑1200℃温度的流化床中的进料的流化气体流化硅颗粒,加入含硅反应气体以及在所述硅颗粒上沉积硅,借此形成颗粒状多晶硅,随后将所述多晶硅从所述反应器中移除,并还移除废气,其中所移除的废气用于加热流化气体或反应气体,或用于在热交换器中加热水介质。
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