[发明专利]涂布装置以及高度检测方法

摘要

本缺陷修正装置(1)(涂布装置)的控制用计算机(11)是在将物镜(16)定位于由涂布在基板(7)表面上的墨水形成的墨水涂布部的上方之后，一边移动Z平台(8)一边拍摄图像，针对构成所拍摄图像的多个像素分别求出对比度C达到峰值的Z平台位置(该像素的焦点位置)，根据求出的Z平台位置求出墨水涂布部的高度。因此，能够定量地检测出墨水涂布部的高度。

主权项

1.一种涂布装置，在基板的表面上涂布液态材料，所述涂布装置具有：头部，该头部包括经由物镜观察所述基板的表面的观察光学系统、经由所述观察光学系统对所述基板的表面的图像进行拍摄的拍摄装置以及利用涂布针在所述基板的表面上涂布所述液态材料的涂布机构；定位装置，该定位装置使所述头部与所述基板相对移动，以使所述头部定位在所述基板的表面上方的所期望的位置上；高度检测部，该高度检测部控制所述定位装置以及所述拍摄装置，将所述物镜定位在由涂布于所述基板的表面的所述液态材料形成的涂布部的上方之后，一边沿上下方向使所述涂布部与所述物镜相对移动一边拍摄图像，针对构成所拍摄图像的多个像素分别求出焦点位置，根据求得的焦点位置求出所述涂布部的高度；以及检查部，所述检查部根据由所述高度检测部检测出的所述涂布部的高度来判断所述涂布部是否正常，所述检查部按每个涂布针登记了检查条件。