[发明专利]在倒置的和晶片结合的太阳能电池中的分流器处理

摘要

本发明提供一种用于在太阳能电池衬底上处理分流器的方法和系统。还提供含有这种衬底的太阳能电池。在接近金属栅格图案(404)的衬底上所检测的分流器从栅格的至少总线部分电断开，这减少了分流器对太阳能电池上的性能的影响。抗反射层可设置在分流器和在分流器上方延伸的栅格部分之间。可以相应地调整用于形成抗反射层的光刻胶的暴露图案(402)以实现这种结果。在一些实施方案中，可以通过调整用于形成此栅格的光刻胶的暴露图案(404)来修改该金属化栅格。可修改该栅格以避免栅格和分流器之间的任何接触，或从该栅格的总线部分断开接触分流器的栅格部分。

主权项

1.一种用于处理在太阳能电池衬底上的分流器的方法，所述方法包含：在光刻胶上暴露金属化栅格图案；在暴露所述金属化栅格图案之后，检测在接近所述金属化栅格图案的太阳能电池衬底上的分流器；在检测所述分流器之后，暴露设置在所述太阳能电池衬底的表面上的所述光刻胶的部分；在所述太阳能电池衬底上形成所述金属化栅格，其中至少所述金属化栅格的总线部分与所述分流器电分离，其中所述光刻胶的暴露部分至少覆盖所述分流器和所述金属化栅格图案的重叠区域，或横跨在所述分流器和所述金属化栅格图案的总线部分之间延伸的金属化栅格图案的部分切开使得整个所述金属化栅格与所述分流器电分离。