[发明专利]激光烧蚀单元有效
申请号: | 201480029211.6 | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN105324832B | 公开(公告)日: | 2017-11-10 |
发明(设计)人: | 德特勒夫·巩特尔;丹尼尔·格罗利蒙德;浩·王 | 申请(专利权)人: | 苏黎世联邦理工学院;保罗·谢勒学院 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;H01J49/10 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 | 代理人: | 汤慧华,郑霞 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 激光烧蚀单元(1)包括流道(11),其具有基本上不变的横截面积,以便确保流道中的严格地层流。样本室(21)被提供邻近流道的侧向开口(14)。激光束(41)通过侧向窗口(16)进入样本室(21),并撞击在样本(23)的表面(24)上以从样本烧蚀材料。样本可被定位在距离流道的一定距离处,使得激光生成的气雾剂质量分布具有在流道内的其中心。这导致短的气雾剂冲洗时间。激光烧蚀单元特别良好地适于包括成像应用的电感耦合等离子体质谱仪(ICPMS)中的气雾剂生成。 | ||
搜索关键词: | 激光 单元 | ||
【主权项】:
一种用于操作对样本进行激光烧蚀的烧蚀单元(1)的方法,其中所述烧蚀单元(1)包括:流道(11),其具有用于将运载气体(G1)供给到所述流道(11)的入口(12)并具有出口(13);侧向开口(14),其在所述流道(11)的第一壁部分(15)中;侧向窗口(16),其被布置在所述流道的第二壁部分(17)中,与所述侧向开口(14)相对;以及样本室(21),其邻近所述侧向开口(14),所述样本室被配置为以如下方式接收样本(23):使脉冲激光束(41)能够通过所述侧向窗口(16)和所述侧向开口(14)进入所述样本室(21)并能够撞击在所述样本(23)的表面(24)上,所述样本室(21)具有用于将屏蔽气体(G2)供给到所述样本室的入口(22),所述方法包括,不必按以下的给定顺序:将样本(23)放置在所述样本室(21)中,使得所述样本的表面(24)面向所述侧向开口(14);将运载气体(G1)供给到所述流道(11)的所述入口(12);将屏蔽气体(G2)供给到所述样本室(21)的所述入口(22);通过将脉冲激光束(41)照射通过所述侧向窗口(16)和所述侧向开口(14)并照射到所述表面(24)上来从所述表面(24)烧蚀材料;在所述表面(24)上扫描所述脉冲激光束(41);以及分析所产生的气雾剂,以获得所述表面(24)的化学图像,其中所述样本(23)是生物样本。
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