[发明专利]玻璃片的整体退火

摘要

可以在片材(20)和/或载体(10)上提供表面改性层(30)和相关的热处理，以同时控制薄片和载体之间的室温范德华(和/或氢)键合以及高温共价键合。控制室温粘结，从而足以在例如真空加工、湿加工和/或超声清洁加工期间，将薄片和载体保持在一起。与此同时，控制高温共价键合，从而防止在高温加工过程中薄片和载体之间的永久粘结，并且维持足够的粘结以防止高温加工过程期间的脱层。

主权项

1.一种对玻璃片进行退火的方法，所述方法包括：堆叠多块玻璃片，每块玻璃片具有两个主表面，使得在所述多块玻璃片中的相邻玻璃片之间限定了界面，其中，在朝向一个界面的至少一个主表面上均匀布置有表面改性层，其中，所述表面改性层是以下一种：HMDS和由C4F8≤40％的CF4‑C4F8混合物沉积的等离子体聚合的含氟聚合物；以及将玻璃片的堆叠暴露于足以压实每块所述玻璃片的时间‑温度循环，其中，所述时间‑温度循环包括≥600℃但是小于所述玻璃片的应变点的温度，其中，在整个时间‑温度循环中，所述表面改性层足以控制所述堆叠中限定了一个界面的相邻玻璃片之间的粘结，其中，将粘结控制成这样的作用力，所述作用力使得如果举起一块片材而另一块片材经受重力作用的情况下，它们不会相互分开，但是所述作用力使得能够在不将相邻玻璃片中的一块破碎成两片或更多片的情况下，将它们分开。