[发明专利]陶瓷压力测量单元及其制造方法

摘要

本发明涉及一种压力测量单元(1)，包括：陶瓷测量膜片(2)和陶瓷对应物(4)，其中测量膜片以气密的方式接合到对应物，借助活性铜焊料(6)形成在测量膜片和对应物之间的压力腔，其中压力测量单元(1)还具有焊接停止层，该焊接停止层在测量膜片(2)和/或对应物(4)的表面上，其中焊接停止层具有金属氧化物或者金属氧化物的还原形式，其中金属氧化物具有至少一个氧化阶段，假定8·10⁴/K的逆温下R_akt＝1的活度系数，其具有不小于1^‑23MPa(10^‑23·bar)并且不大于1^‑12MPa(10^‑12·bar)的氧气共存分解压力，并且假定9·10^‑4/K的逆温下R_akt＝1的活度系数，其具有不少于1^‑27MPa(10^‑27bar)并且不大于1^‑15MPa(10^‑15bar)的氧气共存分解压力，适合的金属氧化物例如为铬氧化物，钨氧化物或钛氧化物。

主权项

压力测量单元(1)，包括：陶瓷测量膜片(2)和陶瓷对应物(4)，其中所述测量膜片与所述对应物气密地接合，借助活性铜焊料形成在所述测量膜片和所述对应物之间的压力腔，其中所述压力测量单元(1)还具有在所述测量膜片(2)和/或所述对应物(4)的表面上的焊接停止层，所述焊接停止层防止当所述测量膜片与所述对应物接合时，所述活性铜焊料经由所述焊接停止层径向向内进入所述压力腔，其特征在于：所述焊接停止层包括金属氧化物或者所述金属氧化物的还原形式，所述金属氧化物包括至少一个氧化状态，其假定R_akt＝1的活度系数在8·10^‑4/K的逆温下具有不小于10^‑24MPa(10^‑23·bar)并且不大于10^‑13MPa(10^‑12·bar)的氧气共存分解压力，并且假定R_akt＝1的活度系数在9·10^‑4/K的逆温下具有不小于10^‑28MPa(10^‑27bar)并且不大于10^‑16MPa(10^‑15bar)的氧气共存分解压力，所述氧气共存分解压力p_O2定义为lnp_O2＝ΔS_R/R‑ΔH_R/(R·T)，其中ΔH_R为反应焓，ΔS_R为反应熵，R为摩尔气体常数，T为热力学温度。