[发明专利]真空泵送和减排系统

摘要

本发明涉及用于从加工室排空加工气体和从加工气体去除有害物质的真空泵送和减排系统。本发明也涉及净化真空泵送装置的方法。本发明旨在通过提供用于从加工室排空加工气体和从加工气体去除有害物质的真空泵送和减排系统来减少这种系统的购置和操作成本以及碳足迹，所述系统包括用于从加工室排空加工气体的真空泵送装置；用于在排空期间净化真空泵送装置的压缩空气源；以及用于从真空泵送装置接收加工气体和压缩空气并且通过在氧气中燃烧所述加工气体以从其去除有害物质的燃烧器，其中支持燃烧的氧气中的至少一些来源于压缩空气。

主权项

一种用于从加工室排空加工气体并且从所述加工气体去除有害物质的真空泵送和减排系统，所述系统包括：用于从加工室排空加工气体的真空泵送装置；用于在排空期间净化所述真空泵送装置的压缩空气源；以及用于从真空泵送装置接收加工气体和压缩空气并且通过在氧气中燃烧加工气体以从其去除有害物质的燃烧器，其中支持燃烧的氧气中的至少一些来源于所述压缩空气，所述系统包括用于在压缩气体引入泵内以便净化之前感测压缩气体的特性的感测构件。