[发明专利]激光加工装置及激光加工方法有效
| 申请号： | 201480018596.6 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN105102178B | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 河口大祐;中野诚;杉尾良太;广瀬翼;荒木佳祐 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/03 | 分类号： | B23K26/03;B23K26/064;B23K26/53;B23K26/08 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是经由将激光(L)聚光于加工对象物(1)，在加工对象物(1)中形成改质区域(7)，具备射出激光(L)的激光光源、将由激光光源射出的激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(4)、以及对经由聚光光学系统聚光于加工对象物(1)的激光(L)赋予像差的像差赋予部(203)。在激光(L)的光轴方向上由将激光(L)聚光于加工对象物(1)所引起的产生于该聚光位置的像差的聚光产生像差的范围为基准像差范围的情况下，像差赋予部(203)，是在光轴方向具有比基准像差范围更长的长范围作为像差的范围，且以光轴方向中的激光(L)的强度分布在长范围具有连续的强弱的方式对激光赋予第1像差，从而提高加工品质。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于，是通过将激光聚光于加工对象物，从而在所述加工对象物中形成改质区域的激光加工装置，具备：射出所述激光的激光光源、作为对由所述激光光源射出的所述激光赋予像差的像差赋予部的空间光调制器、以及将通过所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述加工对象物的包含多个透镜而构成的聚光光学系统，所述空间光调制器在所述激光的光路上的所述激光光源和所述聚光光学系统之间配备，在所述激光的光轴方向上，由通过所述聚光光学系统将所述激光聚光于所述加工对象物所引起而在该聚光位置自然产生聚光产生像差，所述聚光产生像差不依存所述空间光调制器，在将所述聚光产生像差的范围作为基准像差范围的情况下，所述空间光调制器在所述光轴方向上具有比所述基准像差范围更长的长范围作为像差的范围，且以使所述光轴方向上的、通过所述聚光光学系统聚光于所述加工对象物的所述激光的强度分布在所述长范围具有连续的强弱的方式对所述基准像差范围的所述聚光产生像差加上第1像差。
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