[发明专利]外延基环

摘要

本文描述的实施方式涉及用于基板处理腔室的基环组件。在一实施方式中，所述基环组件包括环形主体、上环与下环，所述环形主体的尺寸被设计以容置在所述基板处理腔室的内圆周内，所述环形主体包括装载端口以使基板通过、气体入口以及气体出口，其中所述气体入口与所述气体出口被设置在所述环形主体的相对端处，所述上环被配置以设于所述环形主体的顶表面上，所述下环被配置以设于所述环形主体的底表面上，其中所述上环、所述下环与所述环形主体一旦组装即大体呈同心或共轴的。

主权项

一种用于基板处理腔室的基环组件，包括：环形主体，所述环形主体被设置在所述基板处理腔室的内圆周内，所述环形主体包括：基板装载端口；气体入口；气体出口，其中所述气体入口与所述气体出口被设置在所述环形主体的相对端处，且其中所述基板装载端口相对于所述气体入口与所述气体出口呈90°的角度偏移；上沟槽，所述上沟槽形成于所述环形主体的顶表面中；以及下沟槽，所述下沟槽形成于所述环形主体的底表面中；上环，所述上环被设置在所述环形主体的所述上沟槽内，所述上环与所述上沟槽在所述上环与所述上沟槽之间界定第一环形流体流动路径；及下环，所述下环被设置在所述环形主体的所述下沟槽内，所述下环与所述下沟槽在所述下环与所述下沟槽之间界定第二环形流体流动路径，其中所述上环和所述下环是分别与所述上沟槽和所述下沟槽分开的单独件，且所述上环、所述下环与所述环形主体一旦组装即是同心的或同轴的。