[发明专利]原料流体浓度检测器

摘要

本发明提供一种在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计，能够实现该浓度计的结构的简单化、小型化、产品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定从而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性。本发明为由检测器主体(2)、设置于检测器主体(2)的上面或下面的光振荡部和光检测部构成的光分析式原料流体浓度检测器，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在检测器主体上面或下面形成有至少一个凹部，并且检测器主体具备：从检测器主体的流体入口与凹部连通的流体流路；连通凹部之间的流体通路；从凹部与检测器主体的流体出口连通的流体流路，所述光分析式原料流体浓度检测器构成为：在最接近入口的凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部。

主权项

1.一种原料流体浓度检测器，为具备检测器主体、和设置于检测器主体的上面或下面的光振荡部以及光检测部的光分析式原料流体浓度检测器，其特征在于，在检测器主体上面和下面各自形成有至少一个凹部，并且所述检测器主体具备：从检测器主体的流体入口连通到凹部的流体流路；连通凹部之间的流体通路；和从凹部连通到检测器主体的流体出口的流体流路，在至少一个凹部配置有光振荡部，在剩余的凹部配置有光检测部，所述光振荡部具备光强度检测用的光电二极管和光振荡用的光源，所述光强度检测用的光电二极管的检测值用于原料浓度检测值的补正。