[发明专利]工业用机器人

摘要

一种工业用机器人，即便是在有别于装载过规定处理工序前的基板的手的其他手处装载该处理工序后的基板，也能简化结构。工业用机器人(1)包括第一手(11)及第二手(12)，所述第一手及第二手包括具有一个装载一片基板的基板装载部(20)的第一手部(21)和具有多个基板装载部(20)的第二手部(22)；第一臂(13)，第一手(11)能够转动地连接到所述第一臂的末端侧；第二臂(14)，第二手(12)能够转动地连接到所述第二臂的末端侧；以及臂支承部(15)，所述臂支承部将第一臂(13)的基端侧以及第二臂(14)的基端侧能够转动地连接。在该工业用机器人(1)中，第一手部(21)与第二手部(22)可单独转动，第一臂(13)与第二臂(14)可单独转动。

主权项

一种工业用机器人，其特征在于，包括：第一手以及第二手，所述第一手以及第二手包括具有一个装载一片基板的基板装载部的第一手部和具有以规定的间距在上下方向上重叠配置的多个所述基板装载部的第二手部；第一臂，所述第一手的所述第一手部以及所述第二手部能够转动地连接到所述第一臂的末端侧；第二臂，所述第二手的所述第一手部以及所述第二手部能够转动地连接到所述第二臂的末端侧；臂支承部，所述臂支承部将所述第一臂的基端侧以及所述第二臂的基端侧能够转动地连接；柱部，所述柱部将所述臂支承部保持为能够朝向上下方向移动；第一手部转动机构，所述第一手部转动机构使所述第一手的所述第一手部相对于所述第一臂转动；第二手部转动机构，所述第二手部转动机构使所述第一手的所述第二手部相对于所述第一臂转动；第三手部转动机构，所述第三手部转动机构使所述第二手的所述第一手部相对于所述第二臂转动；第四手部转动机构，所述第四手部转动机构使所述第二手的所述第二手部相对于所述第二臂转动；第一臂转动机构，所述第一臂转动机构使所述第一臂相对于所述臂支承部转动；以及第二臂转动机构，所述第二臂转动机构使所述第二臂相对于所述臂支承部转动，所述第一手的所述第一手部与所述第二手部以彼此在上下方向上重叠的方式、且以使所述第一手的所述第一手部的转动中心与所述第一手的所述第二手部的转动中心一致的方式配置，所述第二手的所述第一手部与所述第二手部以彼此在上下方向上重叠的方式、且以使所述第二手的所述第一手部的转动中心与所述第二手的所述第二手部的转动中心一致的方式配置，所述第一臂安装于所述臂支承部的上表面侧，所述第二臂安装于所述臂支承部的下表面侧，所述第一臂以及所述第二臂以使所述第一臂的转动中心与所述第二臂的转动中心一致的方式配置，所述臂支承部以相对于所述柱部倾斜的角度形成。