[发明专利]可配置的可变位置式封闭轨道磁电管有效
| 申请号： | 201480005804.9 | 申请日： | 2014-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN104937134B | 公开（公告）日： | 2017-10-27 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·里奇;瑞安·汉森;赵贤伟 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文提供用于磁电管组件的方法和设备。在一些实施方式中，磁电管组件包括第一底板；第二底板，所述第二底板相对于第一底板在第一位置与第二位置之间是可移动的；外部磁极，所述外部磁极为环形并包括耦接至第一底板的外部磁极区段和耦接至第二底板的外部磁极区段；和内部磁极，所述内部磁极设置于外部磁极内，其中外部磁极和内部磁极限定闭环磁场，并且其中当在第一位置和第二位置两者中设置第二底板时维持所述闭环磁场。 | ||
| 搜索关键词： | 配置 可变 位置 封闭 轨道 磁电 | ||
【主权项】：
一种磁电管组件，所述磁电管组件包括：第一底板；第二底板，所述第二底板相对于所述第一底板在第一位置与第二位置之间是可移动的；外部磁极，所述外部磁极为环形并包括耦接至所述第一底板的外部磁极区段和耦接至所述第二底板的外部磁极区段；和内部磁极，所述内部磁极设置于所述外部磁极内，其中所述外部磁极和所述内部磁极限定闭环磁场，并且其中当在所述第一位置和第二位置两者中设置所述第二底板时维持所述闭环磁场。
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