[发明专利]探针单元、基板检查装置及探针单元组装方法

摘要

将制造成本抑制为较低，并容易地改变探针的有效屈曲长度。探针单元包括多个探针(11a)、支承探针的支承部及配置于支承部的电极板，支承部包括支承板(41、42)和支承板(43、44)，支承板(41、42)对插通在支承孔(51、52)中的探针(11a)的前端部进行支承，支承板(43、44)对插通在支承孔(53、54)中的探针的基端部侧进行支承，支承部能在第一姿势与第二姿势之间进行转移，在第一姿势下，以支承孔(51～54)的各开口面沿与各支承板(41～44)垂直的垂直方向排列的方式层叠各支承板，在第二姿势下，在支承板(43、44)抵接的状态下使支承板(42)与支承板(43)分开，支承部构成为能在第二姿势下将支承板(42)的内表面与支承板(44)的外表面之间的距离(D1)维持成恒定并改变支承板(42)与支承板(43)之间的距离(D2)。

主权项

一种探针单元，包括：多个探针，多个所述探针用于使前端部与接触对象接触而进行电信号的输入输出；支承部，所述支承部支承该探针；以及电极板，所述电极板具有与所述探针的基端部电连接的电极且配置于所述支承部，所述探针单元的特征在于，所述探针的所述前端部与所述基端部之间的中间部的直径形成为比该前端部及该基端部的直径大，所述支承部包括：第一支承板，所述第一支承板具有直径比所述前端部的直径大且比所述中间部的直径小的第一支承孔，在使所述中间部的靠该前端部侧的端部与该支承孔的缘部抵接的状态下，所述第一支承板对插通在该第一支承孔内的该前端部进行支承；第二支承板，所述第二支承板具有直径比所述中间部的直径大的第二支承孔，并对插通在该第二支承孔内的所述探针的基端部侧进行支承；以及第三支承板，所述第三支承板具有直径比所述中间部的直径大的第三支承孔，并对插通在该第三支承孔内的所述基端部侧进行支承，并且以与所述电极板相对的状态配置，该各支承板构成为以此顺序相对配置，所述支承部还包括：厚度不同的两种第一隔离件；以及厚度为所述两种第一隔离件的厚度之差的第二隔离件，切换以下两种状态：将各所述第一隔离件中的厚度较厚一方的该第一隔离件配置于所述第一支承板与所述第二支承板之间的状态；以及将各所述第一隔离件中的另一方的该第一隔离件配置于所述第一支承板与所述第二支承板之间且将所述第二隔离件配置于所述第二支承板与所述第三支承板之间的状态，通过上述切换，将与所述第二支承板相对的所述第一支承板的内表面以及与所述电极板相对的所述第三支承板的外表面之间的第一距离维持为恒定，并且能够改变该第一支承板与该第二支承板之间的第二距离，并且构成为能对改变了该第二距离的变更状态进行维持，所述第二隔离件形成有供对所述第二支承板及所述第三支承板进行定位的定位销插通的第一缺口以及供对所述第二支承板及所述第三支承板进行固定的螺栓插通的第二缺口，所述第二隔离件构成为能如下所述地配置：在将所述定位销插通在分别形成于所述第二支承板及所述第三支承板的各通孔中，将所述螺栓插通在分别形成于所述第二支承板及所述第三支承板的各固定孔中的状态下，边将所述定位销插入到所述第一缺口中，将所述螺栓插入到所述第二缺口中，边将所述第二隔离件挤入所述第二支承板与所述第三支承板之间的间隙内。