[发明专利]磁控管溅射用磁场生成装置有效
| 申请号： | 201480004542.4 | 申请日： | 2014-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN104919082B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 栗山义彦 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 雒运朴 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种磁控管溅射用磁场生成装置，具有由直线部以及拐角部构成的跑道形状，在非磁性体的基底上具有(a)直线状的中央磁极部件；(b)外周磁极部件，其设置为将所述中央磁极部件包围；(c)多个垂直永久磁铁，配置在所述中央磁极部件与所述外周磁极部件之间，并在与靶面垂直的方向上被磁化；和(d)多个第一以及第二水平永久磁铁，配置在垂直永久磁铁的两侧，并在与靶面平行的方向上被磁化，所述第一以及第二水平永久磁铁的与所述垂直永久磁铁对置的一侧的极、和所述垂直永久磁铁的与靶材表面对置的一侧的极相同。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 溅射 磁场 生成 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控管溅射用磁场生成装置，与靶材对置且用于在靶材表面产生磁场，呈由直线部以及拐角部构成的跑道形状，其特征在于，在由非磁性体构成的基底上具有：(a)直线状的中央磁极部件；(b)外周磁极部件，其设置为将所述中央磁极部件包围；(c)多个垂直永久磁铁，在所述中央磁极部件与所述外周磁极部件之间设置为：将所述中央磁极部件包围，并且磁化方向垂直于所述靶材表面；(d)多个第一水平永久磁铁，在所述中央磁极部件与所述垂直永久磁铁之间设置为：一方的磁极与所述中央磁极部件对置，另一方的磁极与所述垂直永久磁铁对置；以及(e)多个第二水平永久磁铁，在所述外周磁极部件与所述垂直永久磁铁之间设置为：一方的磁极与所述外周磁极部件对置，另一方的磁极与所述垂直永久磁铁对置，所述第一水平永久磁铁以及第二水平永久磁铁的与所述垂直永久磁铁对置的一侧的极、和所述垂直永久磁铁的与所述靶材表面对置的一侧的极相同。
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