[发明专利]用于制造OLED发光装置的设备和方法

摘要

用于在衬底的第一区域上沉积OLED发光装置的一个或多个有机材料层以及在第二区域上沉积一个或多个导电层的设备，其中导电层部分地或完全地覆盖并且延伸超过有机层的一边，包括与衬底接触的可重复使用的掩模，至少一个掩模开放区域具有悬伸特征。

主权项

一种用于在衬底的第一区域上沉积OLED发光装置的一个或多个有机材料层以及在第二区域上沉积所述OLED发光装置的一个或多个导电层的设备，其中所述一个或多个导电层部分地或完全地覆盖所述一个或多个有机材料层并且还延伸超出所述一个或多个有机材料层的一侧，所述设备包括：a)可重复使用的掩模，包括一个或多个开放区域并定位成且保持与所述衬底接触但不与所述衬底结合，其中至少一个掩模开放区域的一个边缘构造成具有悬伸特征，以限定所述衬底的掩盖部分、未掩盖部分以及部分掩盖部分，以及其中所述衬底的所述未掩盖部分包括第一电极的至少一部分，以及所述部分掩盖部分包括第二电极的至少一部分，其中所述第二电极与所述第一电极不相连；b)一个或多个汽化有机材料源，其中所述一个或多个汽化有机材料源包括真空热热蒸发装置并且提供汽化有机材料羽流，所述汽化有机材料羽流包括选择的固有羽流形状，并且所述固有羽流形状具有从所述汽化有机材料羽流的中心线大于60°的固有截止角，以及其中所述固有截止角限定关于所述中心线的、包括所述汽化有机材料羽流的蒸汽总通量90％的区域；c)一个或多个遮挡件，位于所述一个或多个汽化有机材料源中至少之一与所述衬底的至少一部分之间并且位于所述汽化有机材料羽流的与所述可重复使用的掩模的所述悬伸特征对应的侧部上，其中所述一个或多个遮挡件用于在所述汽化有机材料羽流的与所述可重复使用的掩模的所述悬伸特征对应的侧部上使所述汽化有机材料羽流成形，用于将所述汽化有机材料羽流的所述侧部上的至少一些所述汽化有机材料羽流的传输限制至小于或等于选择的截止角的至少一个角度，以及用于与所述可重复使用的掩模相结合而允许所述汽化有机材料羽流的至少一些未遮挡部分通过所述可重复使用的掩模到达所述衬底的所述第一区域，其中所述选择的截止角相对于所述衬底的表面的法线并且小于所述固有截止角，以及其中所述第一区域包括所述衬底的所述未掩盖部分；以及d)一个或多个汽化导电材料源，将导电材料通过所述可重复使用的掩模传输至所述第二区域，其中所述第二区域至少与所述衬底的所述未掩盖部分和所述部分掩盖部分对应，其中所述一个或多个汽化导电材料源包括真空热热蒸发装置并且提供包括与所述汽化有机材料羽流的固有羽流形状基本相同的固有羽流形状的汽化导电材料羽流，所述汽化导电材料羽流的所述固有羽流形状具有与所述汽化有机材料羽流基本相同的、从所述汽化导电材料羽流的中心线大于60°的固有截止角，以及其中所述第二区域与所述第一区域部分地或完全地重叠并且在所述第一区域的与所述可重复使用的掩模的所述悬伸特征相对应的侧部还延伸超出所述第一区域。