[发明专利]使用集成MEMS开关的pMUT阵列有效
| 申请号： | 201480004058.1 | 申请日： | 2014-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN104919520B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | A·哈贾蒂 | 申请（专利权）人： | 富士胶片戴麦提克斯公司 |
| 主分类号： | G10K11/34 | 分类号： | G10K11/34 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 罗攀;肖冰滨 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了可开关微机械转换器阵列，其中微电机械系统(MEMS)开关或继电器与转换器元件单片集成。在实施方式中，MEMS开关被实施在与转换器阵列相同的基板，以实施一个或多个逻辑、寻址或转换器控制功能。在实施方式中，阵列的每个转换器元件是耦合到至少一个MEMS开关的压电元件以在阵列内提供元件级寻址。在某些实施方式中，在转换器中使用的相同的压电材料被用在MEMS开关中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 集成 mems 开关 pmut 阵列 | ||
【主权项】：
1.一种压电微机械转换器阵列，包括：转换器基板；设置在所述转换器基板的第一区域上的多个压电转换器；以及耦合到所述多个压电转换器的多个MEMS开关，其中所述MEMS开关的状态控制对所述多个压电转换器中单独的转换器的接入，其中所述MEMS开关与所述多个压电转换器一起被单片集成在相同的转换器基板上。
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