[发明专利]热处理系统和实施热处理的方法以及使用相同方法制备CIGS太阳能电池的方法

摘要

本发明公开了一种热处理系统，其使得在整个用于热处理步骤的反应空间的均匀的温度分布和反应气体的均匀的浓度分布成为可能，也公开了一种实施热处理的方法，以及一种使用相同方法制造CIGS太阳能电池的方法，其中，所述热处理系统可以包括具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元。

主权项

一种热处理系统，包括，具有反应空间的反应室；围绕所述反应室的外部室；所述外部室从所述反应室以预定的间隔设置；设置为用于打开或者关闭反应室的反应空间的门室；以及用于循环反应室的反应空间内部的气流的气流调节装置；其中，所述气流调节装置包括驱动轴，与所述驱动轴连接的气流抽吸单元，以及与所述气流抽吸单元连接的气流排出单元，其中，在反应空间内部的气流通过操作所述驱动轴被吸入气流抽吸单元，然后通过气流排出单元排出，以循环反应空间内的气流；其中所述气流抽吸单元具有从所述驱动轴的一端向气流排出单元延伸的倾斜的表面，以及，其中所述气流排出单元包括与所述气流抽吸单元连接的第一气流路径部，从所述第一气流路径部以预定的间隔设置的第二气流路径部，以及形成为分割结构并且设置于所述第一气流路径部和第二气流路径部之间的多个气流导向部。