[发明专利]静电容量型传感器以及非线性输出的校正方法有效
| 申请号： | 201480002694.0 | 申请日： | 2014-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN104781678B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 柿沼实;木代雅巳 | 申请（专利权）人： | 富士电机株式会社 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/125;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 静电容量型传感器(10)具备可动电极(110)、支承体(120)、梁构件(130)、固定电极(141)、(180)、检测部(200)以及校正部(300)。梁构件(130)作为弹簧而发挥功能，将可动电极(110)以能够移动的状态安装于支承体(120)。检测部(200)检测在可动电极(110)与固定电极(141)、(180)之间产生的静电容量的变化。然后，校正部(300)对检测部(200)的检测结果进行校正来生成表示加速度的加速度信号。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 容量 传感器 以及 非线性 输出 校正 方法 | ||
【主权项】：
一种静电容量型传感器，具备：可动电极；支承体；梁构件，其将上述可动电极以能够移动的状态安装于上述支承体；第一固定电极，其从第一方向与上述可动电极相对；第二固定电极，其从与上述第一方向不同的第二方向与上述可动电极相对；检测部，其检测在上述可动电极与上述第一固定电极之间以及上述可动电极与上述第二固定电极之间产生的静电容量的变化；以及校正部，其对上述检测部的检测结果进行校正来生成表示加速度的加速度信号，其中，上述检测部的检测结果相对于加速度呈非线性，上述校正部对上述检测部的检测结果进行校正使得上述检测部的检测结果相对于加速度呈线性。
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