[发明专利]针对不同流体类型的改进性能的质量流量控制器和方法有效
| 申请号： | 201480001017.7 | 申请日： | 2014-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN104254812B | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·V·斯米尔诺夫 | 申请（专利权）人： | 日立金属株式会社 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇,张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于改进多种流体类型的流量的控制的系统和方法。该方法包括选择要控制的工艺气体的工艺气体类型；以及获得所选择的工艺气体类型的分子量信息。获得常规特性数据，所述常规特性数据针对多个流量值和压力值对的每对，包括相应的控制信号值，并且通过根据如下等式修正所述常规特性数据中的流量值来生成工作特性数据Fadj＝Fcal*(Mcal/Mpr)k，其中Fadj是调整后的流量值，Fcal是校准流量值，Mpr是所选择的工艺气体类型的分子量，且Mcal是校准气体的分子量。之后使用工作特性数据来在开环控制模式下使所述质量流量控制器的阀门进行工作。 | ||
| 搜索关键词： | 针对 不同 流体 类型 改进 性能 质量 流量 控制器 方法 | ||
【主权项】：
一种利用质量流量控制器来控制工艺气体的质量流量的方法，所述方法包括以下步骤：选择要控制的工艺气体的工艺气体类型；获得所选择的工艺气体类型的分子量信息；接收与期望的质量流速相对应的设定点信号；接收通过压力传感器所生成的工艺气体的压力测量值；响应于工艺气体的压力变化率满足阈值条件，断开反馈控制环路，其中所述反馈控制环路基于测量流速和期望的质量流速之间的差来控制所述质量流量控制器的阀门；利用修正的流量值来确定用于期望的流量值和压力的工艺控制信号值，所述修正的流量值等于Fpr*(Mpr/Mcal)k，其中k的值根据所述质量流量控制器的流量范围介于0.2～0.5之间，Fpr是期望的工艺气体流量值，Mpr是所选择的工艺气体类型的分子量，且Mcal是校准气体的分子量；以及将处于所述工艺控制信号值的工艺控制信号应用于所述阀门，从而以期望的流速提供工艺气体。
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