[实用新型]一种插片机及其定位盒

摘要

本实用新型公开了一种插片机及其定位盒。插片机包括定位盒及硅片花篮。定位盒包括两个相对设置的挂板及至少三个隔板；各挂板竖直设置，相邻两块隔板之间形成容置硅片花篮的容置腔；隔板上安装有缓冲限位装置，缓冲限位装置包括限位板及至少两个缓冲件，各缓冲件为沿竖向设置的长条形，缓冲件安装在限位板朝向容置腔的表面上，至少两个缓冲件沿水平方向排布设置。限位板同时垂直于隔板及挂板，这样限位板即与硅片花篮的底面平行，各缓冲件为沿竖向设置的长条形，缓冲件安装在限位板上，当硅片插入硅片花篮时，会首先接触到缓冲件，而不会撞击到硅片花篮底部边缘，因而减少了插片过程中的硅片崩边、缺口率，从而提高了硅片良品率，降低了生产成本。

主权项

一种插片机的定位盒，其特征在于，包括两个相对设置的挂板及至少三个隔板；各所述挂板竖直设置，各所述隔板垂直固定在所述两个挂板之间，所述至少三个隔板沿竖直方向排布设置，相邻两块所述隔板之间形成容置硅片花篮的容置腔；所述隔板上安装有缓冲限位装置，所述缓冲限位装置包括限位板及至少两个缓冲件，所述限位板同时垂直于所述隔板及挂板，各所述缓冲件为沿竖向设置的长条形，所述缓冲件安装在所述限位板朝向所述容置腔的表面上，所述至少两个缓冲件沿水平方向排布设置。