[实用新型]石英晶锭炉回旋升降机构有效
申请号: | 201420853298.6 | 申请日: | 2014-12-24 |
公开(公告)号: | CN204385329U | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 刘海;贺贤汉;夏孝平 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/18 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型石英晶锭炉回旋升降机构,包括:基座,基座为中空结构;蜗轮丝杆升降机,蜗轮丝杆升降机通过丝杠支撑固定在基座内,在蜗轮丝杆升降机上设有滑块;驱动结构,驱动结构设置在基座底部,驱动结构与蜗轮丝杆升降机连接;支撑滑块,支撑滑块与滑块连接、并卡接在位于基座侧面的导轨上;支撑座,支撑座与支撑滑块连接,在支撑座上设有回旋机构。本实用新型石英晶锭炉回旋升降机构可实现同时升降运动和旋转运动,满足生长石英晶锭工艺要求,可慢速升降和快速升降切换;特殊防护结构设计替代伸缩式钢板防护罩,安装方便,成本低;同时具有限位功能,安全性能高。 | ||
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【主权项】:
石英晶锭炉回旋升降机构,其特征在于,包括:基座,所述基座为中空结构;蜗轮丝杆升降机,所述蜗轮丝杆升降机通过丝杠支撑固定在所述基座内,在所述蜗轮丝杆升降机上设有滑块;驱动结构,所述驱动结构设置在所述基座底部,所述驱动结构与所述蜗轮丝杆升降机连接;支撑滑块,所述支撑滑块与所述滑块连接、并卡接在位于所述基座侧面的导轨上;支撑座,所述支撑座与所述支撑滑块连接,在所述支撑座上设有回旋机构。
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