[实用新型]一种真空吸附装置有效
申请号: | 201420809197.9 | 申请日: | 2014-12-19 |
公开(公告)号: | CN204564671U | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 冯建青 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | B08B5/04 | 分类号: | B08B5/04 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 杨虹 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种真空吸附装置,包括:基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口,其特征在于,所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上,所述梯形支架的上表面上开有真空口,所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置,所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置,所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。如上所述,本实用新型提供一种真空吸附装置,通过真空将基板上的异物吸附干净。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】:
一种真空吸附装置,包括:基板导轨、梯形支架、真空口、管道连接装置、真空转换装置、压缩空气排出口、压缩空气进入口,其特征在于,所述基板导轨垂直安装在梯形支架的梯形侧面上,所述梯形支架的上表面上开有真空口,所述梯形支架的下表面上连接有管道连接装置,所述管道连接装置的另一端连接有真空转换装置,所述真空转换装置上开有压缩空气进入口和压缩空气排出口。
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