[实用新型]一种应力迁移测试结构有效
| 申请号： | 201420762306.6 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN204230235U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 吕勇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应力迁移测试结构，包括：若干条互相平行且宽度不等的第一金属线；若干条互相平行且宽度不等的第二金属线，所述第一金属线和第二金属线堆叠，其间通过通孔电连；第一测试金属，与所述第一金属线的其中一端电连；第二测试金属，与所述第二金属线的其中一端电连。采用本实用新型提供的应力迁移测试结构可以同时进行大量的通孔电阻值测试，便于检测和评估单个通孔应力迁移的可靠性问题，节约测试焊垫和测试面积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应力 迁移 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种应力迁移测试结构，其特征在于，所述应力迁移测试结构至少包括：若干条互相平行且宽度不等的第一金属线；若干条互相平行且宽度不等的第二金属线，所述第一金属线和第二金属线堆叠，其间通过通孔电连；第一测试金属，与所述第一金属线的其中一端电连；第二测试金属，与所述第二金属线的其中一端电连。
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