[实用新型]真空镀膜设备用安全阀

摘要

本实用新型公开了真空镀膜设备用安全阀，包括阀体、阀盖、阀板、螺母压套和阀芯且关于阀芯左右对称，所述阀体顶部与阀盖通过螺钉固定连接并构成腔室，所述阀盖与螺母压套固定连接，所述阀体底部与阀板之间设有O形密封圈，所述阀板顶部与螺母压套底之间固定有圆柱螺旋弹簧，所述阀芯一端固定在阀体顶部，另一端置于螺母压套之间，所述阀体下方有八个放气孔，当真空室内的压强大于圆柱螺旋弹簧最大的安全工作压力时，压力将圆柱螺旋弹簧压缩阀板升起，即打开阀板，压力减小；反之，圆柱螺旋弹簧依靠本身的弹性复位，关闭阀板，通过这样的方式，实现自动控制压力的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本较低的显著有益效果。

主权项

真空镀膜设备用安全阀，包括阀体（1）、阀盖（2）、阀板（3）、螺母压套（4）和阀芯（8），且关于阀芯（8）左右对称，其特征在于：所述阀体（1）顶部与阀盖（2）通过螺钉（5）固定连接并构成腔室，所述阀盖（2）与螺母压套（4）固定连接，所述阀体（1）底部与阀板（3）之间设有O形密封圈（7），所述阀板（3）顶部与螺母压套（4）底之间固定有圆柱螺旋弹簧（6），所述阀芯（8）一端固定在阀体（1）顶部，另一端置于螺母压套（4）之间。