[实用新型]一种PECVD工序用的防倾斜小推车有效
| 申请号： | 201420740849.8 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN204279534U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 缪爱群 | 申请（专利权）人： | 浙江鸿禧能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/02 | 分类号： | B62B3/02;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314205 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD工序用的防倾斜小推车，包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，石墨舟支撑平板的支架，控制倾斜角度的支架，所述的直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；所述的弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端；所述的下压手柄挡板的上端的宽度A小于挡板的宽度B，通过弹簧和下压手柄挡板控制石墨舟倾斜角度。本实用新型的有益效果是通过使用防倾斜小推车，能防止小推车意外倾斜时自动卡死，很大程度上减少了石墨舟的报废，大大降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 工序 倾斜 推车 | ||
【主权项】：
一种PECVD工序用的防倾斜小推车，包括支架，下压手柄，直角固定支架，弹簧，下压手柄挡板，石墨舟支撑平板，锥形弹簧固定杆，旋转轴承，石墨舟支撑平板的支架，控制倾斜角度的支架，其特征在于：所述的直角固定支架和下压手柄挡板依次固定在石墨舟支撑平板的支架上；所述的弹簧两端分别固定在直角固定支架的直角端。
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