[实用新型]用于直拉法生产单晶的装置

摘要

本实用新型公开了一种能够减小氩气使用量的用于直拉法生产单晶的装置。该装置包括上炉膛、下炉膛，上炉膛顶部设置有籽晶旋转提升机构，下炉膛内设置有保温筒，保温筒内设置有石墨坩埚，石墨坩埚内设有石英坩埚，石墨坩埚外侧设置有加热器，石墨坩埚底部设置有坩埚旋转顶升机构，石墨坩埚与坩埚旋转顶升机构设置有圆形的石墨托板，真空泵的进口与真空抽口之间设置有旁路管，通过设置旁路管，在抽真空完毕后进入拉晶工艺阶段时，可以使用旁路管通道，由于旁路管的内径较小，真空泵在工作时，抽取的气体量就大大减小，这样只需通入少量的氩气即可使下炉膛内保持一定浓度的氩气，减少了氩气的需求量较大。适合在单晶生产设备领域推广应用。

主权项

用于直拉法生产单晶的装置，包括上炉膛(1)、下炉膛(2)，上炉膛(1)设置在下炉膛(2)上方且上炉膛(1)通过隔离阀(3)固定在下炉膛(2)顶部，所述上炉膛(1)顶部设置有籽晶旋转提升机构(4)，所述下炉膛(2)内设置有保温筒(5)，所述保温筒(5)内设置有石墨坩埚(6)，所述石墨坩埚(6)内设有石英坩埚(7)，石墨坩埚(6)外侧设置有加热器(8)，加热器(8)位于保温筒(5)内，所述加热器(8)通过加热电极(9)固定在下炉膛(2)底部，下炉膛(2)的顶部连接有氩气管(10)，所述氩气管(10)穿过下炉膛(2)伸入到下炉膛(2)内，所述下炉膛(2)的下部设置有真空抽口(11)，所述真空抽口(11)上连接有排放管(12)，排放管(12)末端连接有真空泵(13)，真空泵(13)的进口与排放管(12)的出口相连，所述石英坩埚(7)上方设置有籽晶夹持装置(14)，所述籽晶夹持装置(14)通过传动杆(15)与籽晶旋转提升机构(4)相连，所述石墨坩埚(6)底部设置有坩埚旋转顶升机构(16)，所述石墨坩埚(6)与坩埚旋转顶升机构(16)设置有圆形的石墨托板(17)，其特征在于：所述真空泵(13)的进口与真空抽口(11)之间设置有旁路管(22)，所述旁路管(22)上设置有用于使旁路管(22)导通或关闭的旁通阀(23)，所述排放管(12)上设置有用于使排放管(12)导通或关闭的工艺阀(24)，所述旁路管(22)的内径为排放管(12)内径的1/3‑1/2。