[实用新型]一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统有效
| 申请号： | 201420705326.X | 申请日： | 2014-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN204281887U | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 刘瑜;陈晓玲 | 申请（专利权）人： | 杭州晶一智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统，该装置包括压力传感器、电子流量阀、PLC控制器，其中，压力传感器，电子流量阀与PLC控制器通过信号线连接和通信，压力传感器安装在冷却出水口位置，电子流量阀安装在冷却进水口。出水压力变化通过压力传感器传输给PLC控制器，PLC控制器调节电子流量阀就能使水压自动保持在所需压力的±0.01兆帕度，从而形成冷却水压力的闭环控制。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统进出水压力变化控制在0.01兆帕以内，减少了水压波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 泡生法 蓝宝石 设备 冷却水 压力 闭环 控制系统 | ||
【主权项】：
一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统，其特征在于，包括安装在冷却出水口的压力传感器，安装在冷却进水口的电子流量阀，进行集中控制的PLC控制器，其中，所述的压力传感器、电子流量阀与所述的PLC控制器通过信号线连接和通信。
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