[实用新型]声表面波温度和压力传感器有效
| 申请号： | 201420693644.9 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN204439245U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 索召和;王云灵;李志刚;李晶;曹占生 | 申请（专利权）人： | 北京太行天启创新科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/24 | 分类号： | G01K11/24;G01L1/25 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮;郭栋梁 |
| 地址： | 100070 北京市丰台区南四*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种声表面波温度和压力传感器，包括：衬底，所述衬底上平行安装有两个延迟型声表面波传感器图形，分别为：压力图形和温度图形；所述压力图形和所述温度图形分别包括：单向叉指换能器和多个反射栅，所述压力图形的单向叉指换能器与所述温度图形的单向叉指换能器相连接；所述衬底下固定有基座，所述基座在所述压力图形的多个反射栅下方开设有压力传导孔；所述基座上还设置有盖顶，所述盖顶与所述基座形成一腔体。本实用新型提供的声表面波温度和压力传感器在同一衬底上布置了两个相近的测温和测压传感器，利用相同的温度系数，在精确测温的同时实现对压力测量值的温度自动补偿，达到了同时实现温度和压力精确测量的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 温度 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种声表面波温度和压力传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上平行安装有两个延迟型声表面波传感器图形，所述两个延迟型声表面波传感器图形分别为：压力图形和温度图形；所述压力图形和所述温度图形分别包括：单向叉指换能器和多个反射栅，所述压力图形的单向叉指换能器与所述温度图形的单向叉指换能器相连接；所述衬底下固定有基座，所述基座在所述压力图形的多个反射栅下方开设有压力传导孔，所述压力传导孔用于将外界压力传导给所述压力图形；所述基座上还设置有盖顶，所述盖顶与所述基座形成一腔体，所述腔体为一密闭空间。
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