[实用新型]一种带有二次加料装置的直拉法单晶制备炉有效
申请号: | 201420683647.4 | 申请日: | 2014-11-13 |
公开(公告)号: | CN204265883U | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 闫广宁;王怡然;张浩强;张鹏 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种带有二次加料装置的直拉法单晶制备炉,包括炉体,炉体内表面附着安装有加热线圈,中央处设有石英坩埚,其中,炉体上端开有进料口,于该进料口处悬停有二次加料装置,所述的二次加料装置包括,抱箍、升降钢缆,升降钢缆一端连接到用以吊起板料的钼杆,钼杆上安装有用以夹持原生多晶的抱箍,使用钼杆吊装板料、头尾料,免除将大块板料敲击粉碎成小块的步骤,不会产生硅尘,也无大量飞溅,提高了材料利用率也避免损伤操作人员健康,使用抱箍可以夹持原生多晶,钼杆、抱箍协同工作,增加物料增添量,大大提高加料效率,带有二次加料装置的单晶炉,设备一体化程度更高具有极广的普适性。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 二次 加料 装置 直拉法单晶 制备 | ||
【主权项】:
一种带有二次加料装置的直拉法单晶制备炉,其特征在于,包括炉体(9),炉体(9)内安装有加热线圈(7)和石英坩埚(8),其中,炉体(9)上端开有进料口(9a),于该进料口(9a)处悬停有二次加料装置;所述的二次加料装置包括抱箍(6)和升降钢缆(1),升降钢缆(1)一端连接到配重柱(2),配重柱(2)下端设有连接柱(2a),连接柱(2a)下表面中心开有螺孔,对应的,冂形连杆(3)上表面中心处亦开有螺孔,连接柱(2a)与冂形连杆(3)通过螺钉相连接,冂形连杆(3)两个支脚处都连接有吊板(4);每个吊板(4)下端皆开有螺孔,所述的抱箍(6)两侧设有连接块,连接块上开有插孔,由一根钼杆(5)穿过所述的螺孔、及所述的插孔,以将吊板(4)与抱箍(6)连接为一体。
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