[实用新型]光阻剥离装置有效
| 申请号： | 201420677509.5 | 申请日： | 2014-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN204314609U | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 徐小锋 | 申请（专利权）人： | 南通富士通微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 孟阿妮;郭栋梁 |
| 地址： | 226006 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光阻剥离装置，包括剥离槽、所述剥离槽的上方设置有治具架，所述治具架上设置有多个用于固定圆片的圆片治具，至少所述圆片治具的下部位于所述剥离槽中，靠近每一所述圆片治具用于固定圆片的一侧均设置有一个搅拌栅板，所述搅拌栅板沿竖直方向滑动设置于所述剥离槽内。该光阻剥离装置既能避免长时间浸泡剥离液对底材的攻击，又能提高去除光阻的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 装置 | ||
【主权项】：
一种光阻剥离装置，包括剥离槽、所述剥离槽的上方设置有治具架，所述治具架上设置有多个用于固定圆片的圆片治具，至少所述圆片治具的下部位于所述剥离槽中，其特征在于，靠近每一所述圆片治具用于固定圆片的一侧均设置有一个搅拌栅板，所述搅拌栅板沿竖直方向滑动设置于所述剥离槽内。
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