[实用新型]一种线圈固定结构有效
| 申请号： | 201420675838.6 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN204179052U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 张虎威 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人： | 尹振启 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀机上电极模块中的线圈固定结构，包括线圈、线圈支架，所述线圈可拆卸的安装固定在所述线圈支架下方，并且，所述线圈支架对应所述线圈安装固定处的下表面与所述线圈的上表面之间留有散热空隙。本实用新型克服了现有上电极模块中的线圈固定螺钉之间容易放电打火的问题，保证了上电极模块工作的稳定性，保证了刻蚀工艺的正常进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线圈 固定 结构 | ||
【主权项】：
一种线圈固定结构，其特征在于，包括线圈、线圈支架，所述线圈可拆卸的安装固定在所述线圈支架下方，并且，所述线圈支架对应所述线圈安装固定处的下表面与所述线圈的上表面之间留有散热空隙。
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