[实用新型]离子注入装置

摘要

本实用新型公开了一种离子注入装置，属于物理学领域。所述装置包括：激光器、高斯光束变换光路组件、紫外窗口、靶托和漂移管，高斯光束变换光路组件包括：高斯光束变换透镜和会聚透镜，高斯光束变换透镜、会聚透镜、紫外窗口及靶托依次设置在激光器发射出的激光的光路上，靶托位于漂移管中，紫外窗口嵌设在漂移管的管壁上。本实用新型通过激光器发射的激光照射到靶托上时，靶托上的靶就会被激光所加热、熔化、气化、变为等离子体，该装置在制备离子时不需要进行重原子的蒸发，而是直接采用激光照射靶材，使得制成的离子中不会混入杂质，纯度高，同时因为激光器安装在漂移管之外，不但简化了漂移管内部的空间布置，且避免了对漂移管的污染。

主权项

一种离子注入装置，其特征在于，所述装置包括：激光器、高斯光束变换光路组件、紫外窗口、靶托和漂移管，所述高斯光束变换光路组件包括：高斯光束变换透镜和会聚透镜，所述高斯光束变换透镜、所述会聚透镜、所述紫外窗口及所述靶托依次设置在所述激光器发射出的激光的光路上，所述靶托位于所述漂移管中，所述紫外窗口嵌设在所述漂移管的管壁上。