[实用新型]芯片探针卡十字校准模板有效
| 申请号： | 201420664439.X | 申请日： | 2014-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN204188668U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 隆英;张宛平;程佳敏 | 申请（专利权）人： | 上海依然半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R35/02 |
| 代理公司： | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人： | 蔡沅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种芯片探针卡十字校准模板，属于芯片检测工具技术领域。采用了该结构的芯片探针卡十字校准模板，其包括金属模板和胶片模板，胶片模板贴合于所述的金属模板上，该胶片模板上设置有校准方格，在利用其进行探针卡对准时，在探针卡固定后，先将光绘胶片吸附在调针机底板上，再将该实用新型的芯片探针卡十字校准模板固定在调针机上平台上，转动底板角度，使十字校准模板与光绘胶片对齐，再将十字校准模板取下，将探针卡装在调针机上平台上，即可开始展开调针的动作。从而能有效减少探针卡对准的角度误差，降低探针卡返工率，从而提升芯片测试精度，且本实用新型的芯片探针卡十字校准模板结构简单，成本低廉，应用范围也较为广泛。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 探针 十字 校准 模板 | ||
【主权项】：
一种芯片探针卡十字校准模板，其特征在于，包括金属模板和胶片模板，所述的金属模板的面积大于所述的胶片模板，所述的胶片模板贴合于所述的金属模板上，该胶片模板上设置有校准方格。
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