[实用新型]卧式旋转柱靶有效
| 申请号： | 201420653212.5 | 申请日： | 2014-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN204385287U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王静;朱磊;杨兴;张磊;安德吉;曹明刚 | 申请（专利权）人： | 沧州天瑞星光热技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 061000 河北省沧州*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种卧式旋转柱靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动，新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 旋转 | ||
【主权项】：
一种卧式旋转柱靶，其特征在于，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。
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