[实用新型]一种通风散热式可膨胀单晶炉热场

摘要

本实用新型涉及一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，包括炉体、设置在炉体侧壁的尾气排放口、设置在炉体顶部的进气口、用于安装石英坩埚的石墨保温坩埚、设置在石墨保温坩埚外沿的加热装置、用于安装石墨保温坩埚的坩埚托盘及用于促进通风的导流筒。本实用新型所述的一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，通过导流筒与石英坩埚的侧壁之间留有排气间隙，使的尾气及时排放不让炉体温度过高，通过四块石墨块拼接而成的石墨保温坩埚，四块石墨块与十字定位凸槽相互适配的间隙，可以在石英坩埚膨胀时，减小对石墨坩埚的膨胀应力，延长石墨坩埚的使用寿命，减少成本，有效提高生产收益。

主权项

一种通风散热式可膨胀单晶炉热场，其特征是：包括炉体(1)、设置在炉体(1)侧壁的尾气排放口(2)、设置在炉体(1)顶部的进气口(7)、用于安装石英坩埚(54)的石墨保温坩埚(53)、设置在石墨保温坩埚(53)外沿的加热装置(6)、用于安装石墨保温坩埚(53)的坩埚托盘(52)及用于促进通风的导流筒(4)，所述的进气口(7)内设置有进气管(71)；所述的炉体(1)内部上侧的设置有导流筒定位孔(3)；所述的石墨保温坩埚(53)是设置在炉体(1)中部；所述的石墨保温坩埚(53)由四块石墨块(531)拼接而成；所述的石墨保温坩埚(53)底部设置有坩埚托盘(52)；所述的坩埚托盘(52)底部设置有石墨立柱(51)；所述的石墨立柱(51)是固定安装在炉体(1)底部；所述的坩埚托盘(52)纵向设有若干散热通孔(521)，坩埚托盘(52)上端面设置有用于固定石墨块(531)的十字定位凸槽(522)；所述的导流筒(4)是通过导流筒定位孔(3)设置在石英坩埚(54)上侧；所述的导流筒(4)是圆锥形空腔体；所述的导流筒定位孔(3)边缘设有阶梯槽(31)；所述的导流筒(4)外沿设有与阶梯槽(31)相适配的凸沿(41)；所述的导流筒(4)的出口部(42)是伸入石英坩埚(54)内；所述的导流筒(4)与石英坩埚(54)的侧壁之间留有排气间隙(43)。