[实用新型]一种旋转研磨台有效
| 申请号: | 201420633620.4 | 申请日: | 2014-10-29 |
| 公开(公告)号: | CN204235357U | 公开(公告)日: | 2015-04-01 |
| 发明(设计)人: | 徐国栋 | 申请(专利权)人: | 上海科秉电子科技有限公司 |
| 主分类号: | B24B37/27 | 分类号: | B24B37/27;B24B37/34 |
| 代理公司: | 上海兆丰知识产权代理事务所(有限合伙) 31241 | 代理人: | 李征旦 |
| 地址: | 201709 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种旋转研磨台,包括底座、壳体、控制器、驱动马达和研磨平台,所述底座包括四根立柱和一个长方形板,所述四根立柱一一对应地固定在所述长方形板的四个角,且所述长方形板位于所述四根立柱的上方;所述壳体呈圆筒形且垂直设置,所述壳体安装在所述底座的长方形板上;所述控制器安装在所述底座的一根立柱上;所述驱动马达安装在所述壳体内,与所述控制器电连接,所述驱动马达的输出端朝上设置;所述研磨平台安装在所述驱动马达的输出端上。本实用新型的旋转研磨台,操作简单,生产效率高,可保证集成电路零配件零部件的精密清洗质量。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 旋转 研磨 | ||
【主权项】:
一种旋转研磨台,包括底座、壳体、控制器、驱动马达和研磨平台,其特征在于,所述底座包括四根立柱和一个长方形板,所述四根立柱一一对应地固定在所述长方形板的四个角,且所述长方形板位于所述四根立柱的上方;所述壳体呈圆筒形且垂直设置,所述壳体安装在所述底座的长方形板上;所述控制器安装在所述底座的一根立柱上;所述驱动马达安装在所述壳体内,与所述控制器电连接,所述驱动马达的输出端朝上设置;所述研磨平台安装在所述驱动马达的输出端上。
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