[实用新型]一种键合丝立式高温退火机

摘要

一种键合丝立式高温退火机包括主体机箱、左张力控制箱、右张力控制箱、左缠线轴、右缠线轴、退火炉；左张力控制箱安装在主体机箱上方靠左侧位置，左张力控制箱包括左机箱、左传动电机、左铝制放线轴、左键合丝线轴；右张力控制箱安装在主体机箱上方靠右侧位置，右张力控制箱包括右机箱、右传动电机、右铝制放线轴、右键合丝线轴；左缠线轴安装在主体机箱上靠左侧，位于左张力控制箱的斜下方；右缠线轴安装在主体机箱上靠右侧，位于右张力控制箱的斜下方；退火炉包括高温退火箱体、若干根不锈钢退火主管、若干气体交换接头、若干不锈钢氮气冷却管、若干进氮气管、若干进氢气管、若干排气管、若干不锈钢气体堵头、若干高温瓷珠、温控探测系统。

主权项

一种键合丝立式高温退火机，其特征在于，其包括一主体机箱、一左张力控制箱、一右张力控制箱、一左缠线轴、一右缠线轴、一退火炉；该左张力控制箱安装在该主体机箱上方靠左侧位置，该左张力控制箱包括一左机箱、一左传动电机、一左铝制放线轴、一左键合丝线轴；该左机箱安装在该主体机箱的上方靠左侧位置；该左传动电机安装在该左机箱中，该左传动电机上装设有一根左旋转轴；该左铝制放线轴连接该左传动电机的左旋转轴；该左键合丝线轴安装在该左铝制放线轴上；该右张力控制箱安装在该主体机箱上方靠右侧位置，该右张力控制箱包括一右机箱、一右传动电机、一右铝制放线轴、一右键合丝线轴；该右机箱安装在该主体机箱的上方靠右侧位置；该右传动电机安装在该右机箱中，该右传动电机上装设有一根右旋转轴；该右铝制放线轴连接该右传动电机的右旋转轴；该右键合丝线轴安装在该右铝制放线轴上；该左缠线轴安装在该主体机箱上靠左侧，位于该左张力控制箱的斜下方；该右缠线轴安装在该主体机箱上靠右侧，位于该右张力控制箱的斜下方；该退火炉安装在该主体机箱上，位于该左张力控制箱和右张力控制箱的下方，并位于该左缠线轴和右缠线轴之间；该退火炉包括一个高温退火箱体、若干根不锈钢退火主管、若干个气体交换接头、若干个不锈钢氮气冷却管、若干个进氮气管、若干个进氢气管、若干个排气管、若干个不锈钢气体堵头、若干个高温瓷珠、一个温控探测系统；该高温退火箱体固定地安装在该主体机箱上；该若干根不锈钢退火主管平行地安装在该高温退火箱体中，其上下两端穿出后露在该高温退火箱体外面；该若干个气体交换接头分别安装在该若干根不锈钢退火主管的上下两端部；该若干个不锈钢氮气冷却管分别安装在若干个气体交换接头上；该若干个进氮气管安装在该若干个不锈钢氮气冷却管上；该若干个进氢气管分别安装在该若干个不锈钢退火主管上并裸露在该高温退火箱体下方；该若干个排气管分别安装在该若干个不锈钢退火主管上并裸露在该高温退火箱体上方；该若干个不锈钢气体堵头对应安装在该若干个不锈钢氮气冷却管的端部；该若干个高温瓷珠分别安装在该若干个不锈钢气体堵头中；该温控探测系统安装在该高温退火箱体内。