[实用新型]探针台的晶圆芯粒自动对准装置

摘要

本实用新型公开了一种探针台的晶圆芯粒自动对准装置，包括晶圆探针台；其中它还具有用于控制晶圆探针台运动的视觉系统；所述的视觉系统，包括工控机，及其上与之连接的支撑臂，该支撑臂上安装有CCD摄像机及CCD摄像机连接的镜头和安装在镜头上的LED光源，由CCD摄像机通过数据传输线与工控机控制系统连接。通过视觉系统对晶圆探针台的运动进行控制。本新型首先实现由晶圆探针台的晶圆片上片过程，再通过视觉系统进行图像采集计算分析，实现对晶圆片的自动角度调整以及晶圆片第一个芯粒的定位过程。解决了传统人工上片精度和工作效率低的问题，极大的提升了优良率和产能。

主权项

一种探针台的晶圆芯粒自动对准装置，包括晶圆探针台；其特征是，它还具有用于控制晶圆探针台运动的视觉系统；所述的视觉系统，包括工控机（8），及其上与之连接的支撑臂（12），该支撑臂（12）上安装有CCD摄像机（9）及CCD摄像机（9）连接的镜头（6）和安装在镜头（6）上的LED光源（7），由CCD摄像机（9）通过数据传输线与工控机（8）控制系统连接。