[实用新型]一种晶片研磨机中的防护装置

摘要

本实用新型公开了一种可以将研磨时飞溅出来的碎屑完全遮挡的晶片研磨机中的防护装置，包括：设置在下磨座上的环形防护筒，该环形防护筒包括一对通过箱包锁扣锁紧在一起的半圆弧形板；环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台，环形防护筒的内壁在搁置凸台的上、下侧分别设置有环形缓冲槽和环形密封槽，环形密封槽中设置有环形密封圈，环形缓冲槽的上沿不低于与下磨盘配套使用的上磨盘的下表面即上磨盘的研磨面，环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上；所述的机座上在环形保护筒的下方还设置有与所述的下磨座同心的环形搁置平台。该防护装置尤其适用于对晶片进行研磨的研磨机中。

主权项

一种晶片研磨机中的防护装置，包括：通过主动轴活动设置在研磨机机座上的下磨座，下磨座上设置有与下磨座同心的环形防护筒，其特征在于：所述的下磨座大于同心安装在下磨座上的下磨盘，所述的环形防护筒包括：一对半圆弧形板，这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起；该环形防护筒与下磨座之间的具体设置方式为：环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台，该搁置凸台上设置有与下磨座上的排污孔相通的导污孔，环形防护筒的内壁在搁置凸台的上、下侧分别设置有环形缓冲槽和环形密封槽，环形密封槽中设置有环形密封圈，环形缓冲槽的上沿不低于与下磨盘配套使用的上磨盘的下表面即上磨盘的研磨面，环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上；所述的机座上在环形保护筒的下方还设置有与所述的下磨座同心、用于搁置环形保护筒的环形搁置平台。