[实用新型]一种外部装料结构

摘要

本实用新型涉及直拉硅单晶生长设备的辅助设备，旨在提供一种外部装料结构。该种外部装料结构用于将石英坩埚和真空罩连接密封后，整体吊装放入或取出单晶炉热场；外部装料结构的主体包括单晶炉中的籽晶系统和旋转机构，籽晶系统安装在副炉室上，籽晶系统利用钢丝绳与真空罩上的吊环连接，实现对连接密封后的石英坩埚和真空罩整体进行升降运动；旋转机构用于带动副炉室进行旋转运动，进而带动安装在副炉室上的籽晶系统进行旋转运动，实现吊装在籽晶系统上的连接密封后的石英坩埚和真空罩整体完成旋转运动和升降运动。本实用新型不需增加额外吊装辅助设备，利用了单晶炉固有的籽晶系统和副炉室旋转机构，能有效的实现坩埚炉外装料。

主权项

一种外部装料结构，用于将石英坩埚和真空罩连接密封后，整体吊装放入或取出单晶炉热场，其特征在于，真空罩上设有吊环和进出气口，进出气口连接有真空阀，真空阀的另一端连接口通过波纹管与真空泵连接，真空阀用于控制进出气口的开启和关闭；真空罩上设置有密封圈，并通过密封圈和石英坩埚密封连接，真空泵用于将石英坩埚和真空罩形成的密封腔体抽成真空；真空罩上还设有真空表，真空表用于测量石英坩埚和真空吸盘形成的密封腔体内的大气压力；所述外部装料结构的主体为吊装机构，吊装机构包括单晶炉中的籽晶系统和旋转机构，吊装机构利用真空罩上的吊环，实现对连接密封后的石英坩埚和真空罩整体进行吊装；所述籽晶系统安装在副炉室上，籽晶系统包括电机、带轮、离合器、编码器、称重传感器，籽晶系统利用钢丝绳与真空罩上的吊环连接，实现对连接密封后的石英坩埚和真空罩整体进行升降运动；所述电机设有两个，两个不同的电机用于提供两种不明的吊装速度，所述带轮和离合器用于进行电机选择，以达到不同的升降速度；所述编码器用于定位钢丝绳端部的位置并显示升降的距离，方便进行运动行程控制；所述称重传感器用于计算石英坩埚内所装载的多晶硅原料的质量；所述旋转机构用于带动副炉室进行旋转运动，进而带动安装在副炉室上的籽晶系统进行旋转运动，实现吊装在籽晶系统上的连接密封后的石英坩埚和真空罩整体完成旋转运动和升降运动；旋转机构还设有限位开关，限位开关用于控制副炉室的旋转角度。