[实用新型]一种硅棒研磨装置

摘要

本实用新型公开了一种硅棒研磨装置，包括驱动机构和砂轮，所述砂轮螺接在驱动机构的驱动轴上；还包括防护罩、冷水箱和冷却盘，所述防护罩为环形，所述防护罩固定在驱动机构上；所述冷却盘为中空结构，其上设有进水口，且朝向砂轮一侧设有喷水孔，所述冷却盘设置在驱动机构与砂轮之间；所述冷水箱通过管道与冷却盘进水口连通；所述砂轮为金刚石砂轮。本实用新型有效解决了硅棒上锯痕、“鼓肚”等问题，且研磨过程中利用水冷却，粉尘由水带出，减少了对工作环境的污染。

主权项

一种硅棒研磨装置，包括驱动机构(1)和砂轮(2)，所述砂轮(2)螺接在驱动机构(1)的驱动轴上；其特征在于，还包括防护罩(3)、冷水箱(4)和冷却盘(5)，所述防护罩(3)为环形，所述防护罩(3)固定在驱动机构(1)上；所述冷却盘(5)为中空结构，其上设有进水口，且朝向砂轮(2)一侧设有喷水孔(501)，所述冷却盘(5)设置在驱动机构(1)与砂轮(2)之间；所述冷水箱(4)通过管道与冷却盘(5)进水口连通；所述砂轮(2)为金刚石砂轮。